本发明涉及一种芯片清洗用亚临界二氧化碳供应系统，包括储罐、输送管道、调压管道和输出管道，所述输送管道上设有第一加热器，所述第一加热器用于将所述储罐内的二氧化碳气化；所述输送管道两端分别与所述储罐和所述调压管道连接，所述调压管道包括并联设置的第一调压管路和第二调压管路，所述第一调压管路和第二调压管路的一端均与所述输出管道连接，基于所述第一调压管路和第二调压管路的控制方式进行优先级排序，采用优先级最高的调压管道进行二氧化碳的输送。本发明提供的芯片清洗用亚临界二氧化碳供应系统，通过多路调压的方式来对二氧化碳气体进行连续供应，连续供应能力更强，稳定性更好。