本发明公开了一种面向半导体器件模拟的八叉树网格加密和生成方法，包括读取半导体几何模型数据，使用特征识别获取特征边界面，进而对三角面片归类。根据模型构建初始包围盒作为八叉树根节点，依照加密策略，对指定的范围、材料或边界处进行各向异性加密。对加密得到的八叉树，根据邻居和尺寸信息等进行平衡。得到平衡八叉树后，对与边界相交的叶子节点，计算出其与边界三角面片相交产生的所有截面，对所有截面和叶子节点的面进行二维的德劳内三角化，得到全三角形网格。对网格在不改变原始几何形状的条件下，减少网格点、单元数量，提升质量。对最终的三角形网格，通过三维德劳内三角剖分方法生成全四面体网格。