本发明公开了一种表面预氧化的AlCrVTiSiON纳米梯度涂层及其制备方法，属于涂层技术领域。所述AlCrVTiSiON纳米梯度涂层是采用电弧离子镀膜技术制备,具体制备时，靶材选取金属Cr靶、V靶、AlCrSi靶、AlTiSi靶。为进一步提升涂层的耐热能力、增加服役过程中的切削用量，在涂层表层实施预氧化，最终形成O元素含量由内至外呈梯度增加的AlCrVTiSiON纳米梯度涂层。制备出的涂层具有良好的耐热性能,适用于高速切削,提高加工效率。