Invention Grant
- Patent Title: 曝光机
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Application No.: CN202410524943.8Application Date: 2024-04-29
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Publication No.: CN118092090BPublication Date: 2024-07-26
- Inventor: 王华 , 陈志特 , 甘泉 , 冯明瑞
- Applicant: 广东科视光学技术股份有限公司
- Applicant Address: 广东省东莞市东城区主山振兴路333号(B幢一楼)
- Assignee: 广东科视光学技术股份有限公司
- Current Assignee: 广东科视光学技术股份有限公司
- Current Assignee Address: 广东省东莞市东城区主山振兴路333号(B幢一楼)
- Agency: 深圳市华盛智荟知识产权代理事务所
- Agent 胡国英
- Main IPC: G03F7/20
- IPC: G03F7/20
Abstract:
本申请涉及曝光机技术领域,尤其涉及一种曝光机。装载机构通过吸附的方式固定待曝光件。当待曝光件放置于装载机构时,待曝光件对吸附孔进行封堵,通过负压装置使吸附孔形成负压,通过大气压力将待曝光件固定于装载机构。由于待曝光件区域内的吸附孔主要由待曝光件承受大气压力,因此密封件受到的大气压力较小,弹性件使密封件解除对吸附孔的密封。而待曝光件区域外的吸附孔没有待曝光件承受大气压力,因此,由密封件承受大部分的大气压力,使密封件紧贴装载台组件,对吸附孔进行封堵,防止漏气现象的产生,保证装载机构吸附待曝光件的有效性,并降低负压装置的功率,降低曝光设备的能耗。如此,降低曝光机能耗。
Public/Granted literature
- CN118092090A 曝光机 Public/Granted day:2024-05-28
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IPC分类: