发明公开
CN118103545A 波纹状高分辨率荫罩
审中-实审
- 专利标题： 波纹状高分辨率荫罩
-
申请号： CN202280062894.X申请日： 2022-09-19
-
公开(公告)号： CN118103545A公开(公告)日： 2024-05-28
- 发明人: 董首成 , 杨基业 , 邓清云
- 申请人： 香港科技大学
- 申请人地址： 中国香港九龙清水湾
- 专利权人： 香港科技大学
- 当前专利权人： 香港科技大学
- 当前专利权人地址： 中国香港九龙清水湾
- 代理机构： 深圳宜保知识产权代理事务所
- 代理商 王琴; 曹玉存
- 优先权： 17/946,083 20220916 US 17/946,083 20220916 US
- 国际申请： PCT/CN2022/119552 2022.09.19
- 国际公布： WO2023/138081 EN 2023.07.27
- 进入国家日期： 2024-03-18
- 主分类号： C23C16/00
- IPC分类号： C23C16/00
摘要：
一种用于图案化气相沉积的波纹状荫罩(100)，包括处于拉应力下的波纹膜(110)，该波纹膜具有多个通孔(112)，形成孔阵列，汽化的沉积材料可以穿过该孔阵列。通孔(112)位于波纹(113)的顶点并且从围绕通孔的膜表面(110a,110b)突出。该荫罩(100)特别适合于形成OLED显示器的像素阵列，而不会发生相邻像素(321‑323)的颜色混合。
IPC分类:
