本发明公开了非尖端‑样品表面依赖的亚表面特征超分辨无损成像方法。方法包括将含有球型异质纳米颗粒的待检样品放置在超声换能器上，利用计算机调控待检样品的位置使待检样品位于隧穿电极的下方，预设正弦激励信号强度和直流偏置电压大小，正弦激励信号激励超声换能器产生超声波并作用于待检样品，隧穿电极在直流偏置电压的作用下产生隧穿电流信号，超声波对隧穿电极中的隧穿电流信号产生扰动，携带有亚表面特征信息的隧穿电流信号由成像显示模块成像。本发明实现了对亚表面特征的超分辨无损成像调控，摆脱了扫描探针体系中对探针‑样品表面间距的严格依赖，无需复杂的闭环控制回路即可实现对待检样品亚表面纳米特征的超分辨无损成像。