氮化硅粉体及其制备方法、用途
摘要:
本申请提供了一种氮化硅粉体及其制备方法。该方法包括在保护性气氛中混合3wt%‑30wt%的硅粉与70wt%‑97wt%的前驱体粉末,形成粉体混合物;在含氮气氛中焙烧所述粉体混合物,得到所述氮化硅粉体,所述前驱体粉末选自由氨基硅、亚氨基硅以及非晶态氮化硅组成的组。本申请的氮化硅粉体具有结晶度高、粒径分布窄、颗粒形貌规则等特点,在氮化硅陶瓷轴承、集成电路基板、导热胶填料等领域具有广阔的应用前景。
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