本发明公开了一种有机镧前驱体及其制备方法，属于半导体材料技术领域，本发明中通过胺基镧(III)配合物与脒配体发生配体交换反应，第一步、在无水无氧条件下，将胺基镧(III)配合物加入有机溶剂中溶解得到溶液；第二步、在无水无氧条件下，向上述溶液中分批次添加脒配体，加热反应2‑24h；第三步、反应结束后，减压蒸馏出溶剂及副产物后得到粗产物，粗产物经过结晶、过滤、升华即可得到有机镧前驱体。使用胺基镧(III)配合物作为镧源制备脒基La前驱体，原料中不含有卤族元素，简化了纯化步骤，更适合高纯ALD前驱体生产，制备的产品纯度高，无卤素。