- 专利标题: 一种基于可调制弱值放大技术的应力检测系统及应力检测方法
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申请号: CN202410471709.3申请日: 2024-04-19
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公开(公告)号: CN118129955B公开(公告)日: 2024-10-01
- 发明人: 张庆茂 , 孙万寿 , 於亚飞 , 卢文轩 , 王金东 , 郭亮
- 申请人: 华南师范大学
- 申请人地址: 广东省广州市番禺区外环西路378号华南师范大学信息光电子科技学院
- 专利权人: 华南师范大学
- 当前专利权人: 华南师范大学
- 当前专利权人地址: 广东省广州市番禺区外环西路378号华南师范大学信息光电子科技学院
- 代理机构: 广州骏思知识产权代理有限公司
- 代理商 吴静芝
- 主分类号: G01L1/24
- IPC分类号: G01L1/24
摘要:
本发明涉及一种基于可调制弱值放大技术的应力检测系统,包括依次排布在光路系统中的光调制模块、光信息采集单元和应力处理器;光调制模块将宽谱的初始入射光调制为检测入射光,该检测入射光的平均波长偏移量处于平均波长偏移量Δλ‑时间延迟τ变化曲线的线性工作区间Ri内,根据测量耦合样品应力的检测入射光的平均波长偏移量ΔλC获得待测样品应力ΔS,实现对双折射应力的高精度、高灵敏度的检测,特别是实现了一定应力范围内的的超高灵敏检测。该检测系统具有高精度、高灵敏度等优点,在晶元制造领域的微应力检测方面具有重要应用价值。
公开/授权文献
- CN118129955A 一种基于可调制弱值放大技术的应力检测系统及应力检测方法 公开/授权日:2024-06-04