本发明提供一种基于路径循迹和神经网络的晶圆图案缺陷检测平台及方法，包括以下步骤：获取摄像装置的视野覆盖整个晶圆图像时采集的整体晶圆图像；将掩膜版图像与整体晶圆图像进行对准，基于掩模版图像确定初始循迹点的位置坐标；控制晶圆载台移动，带动初始循迹点移动至所述摄像装置的视野中心；获取所述摄像装置的视野对焦初始循迹点局部时采集的局部晶圆图案图像；采用图像骨架提取算法对局部晶圆图案图像进行处理，获得光刻路径，根据光刻路径获取目标循迹点的位置坐标；控制晶圆载台移动，带动目标循迹点移动至所述摄像装置的视野中心，并在移动结束后，将目标循迹点更新为初始循迹点；重复当前步骤，直至遍历完晶圆图案。