发明公开
- 专利标题： 离子源接口拆卸装置、装配方法和拆卸方法
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申请号： CN202410375865.X申请日： 2024-03-29
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公开(公告)号： CN118163061A公开(公告)日： 2024-06-11
- 发明人: 姬孟托 , 甘剑勤 , 卢斌 , 闻路红
- 申请人： 宁波华仪宁创智能科技有限公司
- 申请人地址： 浙江省宁波市鄞州区金谷中路(东)288号A幢1-6层、F2幢1层西侧
- 专利权人： 宁波华仪宁创智能科技有限公司
- 当前专利权人： 宁波华仪宁创智能科技有限公司
- 当前专利权人地址： 浙江省宁波市鄞州区金谷中路(东)288号A幢1-6层、F2幢1层西侧
- 主分类号： B25B27/02
- IPC分类号： B25B27/02 ; H01J49/10 ; H01J49/24
摘要：
本发明提供了离子源接口拆卸装置、装配方法和拆卸方法，所述离子源接口拆卸装置为：旋转件外缘的旋转半径具有不同，并设置在容纳部内；限位单元用于限制所述旋转件在其轴向上移动；施力件设置在所述旋转件上；至少二个转动臂的中心通过转轴设置在容纳部上，所述转动臂的一端接触所述旋转件外缘，另一端具有适于连接所述离子源接口的钩状结构，阻力件用于阻碍所述转动臂的转动。本发明具有结构简单等优点。
