本发明公开一种地面辐射污染监测装置、方法、核设施厂房辐射监测系统，该装置包括：探测器、行进组件、测距仪和控制组件。行进组件与探测器连接，用于带动探测器在待监测的厂房内移动，探测器朝向厂房地面，用于探测厂房地面的辐射信息。控制组件与行进组件电连接，用于获取探测器的行进路线，并根据行进路线，控制行进组件带动探测器沿行进路线移动，进而对厂房的地面进行监测。测距仪安装于行进组件上，用于扫描得到行进组件前方的障碍信息；控制组件与测距仪电连接，用于接收障碍信息并根据障碍信息，控制行进组件进行避障或继续沿行进路线移动。该装置能够对放射性沾污的地面进行自动化的辐射监测。