一种由相干光束调制的原位非接触式可变温性能测试样品杆
摘要:
本发明公开一种由相干光束调制的原位非接触式可变温性能测试样品杆,包括可调节相干光束发射装置、温控模块、信号反馈模块、样品台、真空抽口及阀门等,所述可调节相干光束发射装置由激光发射器、可调半透半反射镜、补偿器、可调全反射镜构成,所述样品台由载物台、双侧等距扩束器、加热丝8主体连接,所述可调节相干光束测试装置通过连接杆中光纤连接所述样品台,通过电导线连接所述温控模块和信号反馈模块。本发明相干光束发射装置设计新颖,能利用相干光束对材料试样或器件实现光学调制的同时进行可变温电学性能测试。
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