发明公开
摘要:
本发明公开了一种适用于集成光路的减振温控系统,包括外层机箱以及内层机箱;内层机箱内部设置有两层均热板,上层均热板上放置有光学基板;上层均热板上开设有用于放置导热条的第一凹槽,导热条放置在第一凹槽内;内层机箱的两侧开设有用于放置TEC的第二凹槽;TEC的制冷面与导热条之间通过紫铜块连接;TEC的制热面上贴附有散热片,散热片固设在内层机箱上;外层机箱内侧正对散热片的位置安装有静音风扇,软质胶管密封包覆在静音风扇与散热片外部;下层均热板与上层均热板上对应位置均开设有用于供第一减振垫穿过的通孔。本发明降低了动态环境下原子重力仪进行重力测量时外界振动干扰的影响,消除了温控系统自身振动对光路系统带来的影响。