- 专利标题: 一种陶瓷基板内部微缺陷的自动化批量检测系统及其方法
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申请号: CN202410693210.7申请日: 2024-05-31
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公开(公告)号: CN118258885A公开(公告)日: 2024-06-28
- 发明人: 王闯 , 赵志强 , 江玉鑫 , 周慧 , 张伟
- 申请人: 江苏瀚思瑞半导体科技有限公司
- 申请人地址: 江苏省南通市海门区滨江街道广州路999号1614号
- 专利权人: 江苏瀚思瑞半导体科技有限公司
- 当前专利权人: 江苏瀚思瑞半导体科技有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省南通市海门区滨江街道广州路999号1614号
- 代理机构: 南京钟山专利代理有限公司
- 代理商 牛婧
- 主分类号: G01N27/92
- IPC分类号: G01N27/92 ; G01N27/61
摘要:
本发明公开了一种陶瓷基板内部微缺陷的自动化批量检测系统及其方法,包括放置架与检测箱,检测箱安装于放置架内,放置架包括安装立柱、送料轨道、进料轨道、横梁、吸取头以及清理架,检测箱一侧侧壁、顶盖与检测箱本体相对滑动设置,检测箱底部阵列设置有若干检测底座,检测箱顶盖内侧于检测底座正上方活动设置有检测顶座,检测底座与检测顶座上均设置有柔性导电材料,检测底座与检测顶座之间的柔性导电材料夹设有陶瓷基板,检测箱另一侧侧壁上开设有注入口,检测底座与检测顶座通过通电导线连接PLC端。本发明的优点在于能够直接对陶瓷基板进行自动化批量检测,提高生产效率,耗时短。
公开/授权文献
- CN118258885B 一种陶瓷基板内部微缺陷的自动化批量检测系统及其方法 公开/授权日:2024-08-16