Invention Publication
- Patent Title: 探针收纳治具、探针收纳系统及探针收纳方法
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Application No.: CN202280077232.XApplication Date: 2022-10-24
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Publication No.: CN118302677APublication Date: 2024-07-05
- Inventor: 竹谷敏永
- Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
- Applicant Address: 日本
- Assignee: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
- Current Assignee: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
- Current Assignee Address: 日本
- Agency: 北京林达刘知识产权代理事务所
- Agent 刘新宇; 岳红杰
- Priority: 2021-189201 20211122 JP
- International Application: PCT/JP2022/039498 2022.10.24
- International Announcement: WO2023/090062 JA 2023.05.25
- Date entered country: 2024-05-21
- Main IPC: G01R1/06
- IPC: G01R1/06 ; G01R1/073 ; H01L21/66

Abstract:
探针收纳治具收纳具有悬臂构造的臂部和与臂部的固定端连接的支承部的探针。探针收纳治具具有将第1导向板和第2导向板层叠而成的结构。在第1导向板和第2导向板分别形成有从上表面贯通至下表面的贯通孔。探针收纳治具以在从探针收纳治具的上方观察时支承部的上部暴露,且在从探针收纳治具的下方观察时臂部的自由端的前端暴露的状态保持探针,该探针贯穿了第1导向板和第2导向板各自的贯通孔。探针收纳治具构成为第1导向板和第2导向板能够移动从而由第1导向板和第2导向板夹住探针。
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