发明公开
- 专利标题： 透射电子显微镜中基于激光的对比度控制
-
申请号： CN202280073723.7申请日： 2022-11-01
-
公开(公告)号： CN118318285A公开(公告)日： 2024-07-09
- 发明人: 奥西普·施瓦兹 , 迈克尔·卡利
- 申请人： 耶达研究与发展有限公司
- 申请人地址： 以色列雷霍沃特
- 专利权人： 耶达研究与发展有限公司
- 当前专利权人： 耶达研究与发展有限公司
- 当前专利权人地址： 以色列雷霍沃特
- 代理机构： 北京安信方达知识产权代理有限公司
- 代理商 张少波; 杨明钊
- 优先权： 63/274,616 20211102 US
- 国际申请： PCT/IL2022/051157 2022.11.01
- 国际公布： WO2023/079548 EN 2023.05.11
- 进入国家日期： 2024-04-30
- 主分类号： H01J37/26
- IPC分类号： H01J37/26 ; H01J37/22
摘要：
一种用于电子束成像或电子束光谱学的系统和方法。该系统包括：具有后焦平面的透射电子显微镜(TEM)；一个或更多个基于激光的设备，该基于激光的设备被配置成将电子波的预定部分偏移到与TEM的电子源原始提供的能量不同的能量；以及电子能量过滤器，该电子能量过滤器被配置成接受处于由TEM的电子源提供的能量的电子波，并且还被配置成拒绝被激光设备偏移到不同能量的电子波。