一种半导体用等静压石墨坩埚打磨控制系统
摘要:
本申请涉及一种半导体用等静压石墨坩埚打磨控制系统,涉及等静压石墨的技术领域,包括打磨箱、控制模块、打磨模块、喷淋模块和负压模块,打磨模块用于对坩埚表面进行打磨,喷淋模块用于对坩埚表面进行喷淋,打磨箱的下方设置排出管,排出管上设有三通阀,负压模块通过三通阀的一出口和打磨箱相连通,控制模块控制打磨模块对坩埚进行打磨,并控制负压模块对打磨箱内进行抽吸,使得打磨箱内处于负压,在打磨完成后,控制喷淋模块对坩埚表面进行喷淋,并控制三通阀切换,使得喷淋液从三通阀的另一出口排出。本申请具有能够减低粉尘飘散至车间的概率的优点。
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