发明公开
- 专利标题: 工作液循环系统及表面处理设备
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申请号: CN202410381140.1申请日: 2024-03-29
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公开(公告)号: CN118345486A公开(公告)日: 2024-07-16
- 发明人: 李宜欣 , 刘吉扬 , 尹卫华 , 毛俊杰 , 陈亮 , 江瑞棠
- 申请人: 深圳惠科新材料股份有限公司
- 申请人地址: 广东省深圳市宝安区石岩街道石龙社区工业二路1号惠科工业园厂房8栋七层
- 专利权人: 深圳惠科新材料股份有限公司
- 当前专利权人: 深圳惠科新材料股份有限公司
- 当前专利权人地址: 广东省深圳市宝安区石岩街道石龙社区工业二路1号惠科工业园厂房8栋七层
- 代理机构: 深圳市联鼎知识产权代理有限公司
- 代理商 唐逸飞
- 主分类号: C25D17/02
- IPC分类号: C25D17/02 ; C25D9/04 ; C25D21/18 ; C25D21/06 ; C25D7/06 ; C25D21/14
摘要:
本申请属于铜箔制造设备领域,具体涉及一种工作液循环系统及表面处理设备,工作液循环系统包括表处理槽、连接装置、进液装置和分流装置,连接装置的排液口与表处理槽的进液口连接;进液装置与连接装置的进液口连接,用于通入工作液到连接装置中;分流装置包括第一储罐,第一储罐的进液口与表处理槽的排液口连接,第一储罐的排液口用于连接废液存储装置或废液处理装置,进液装置通入连接装置的工作液的流量与第一储罐的排液口排放工作液的流量相等。补充工作液和排放工作液的速度相等,与工作液定期补充的方案相比,工作液中溶质的浓度可以保持稳定,进液装置补充的工作液中溶质的浓度可保持不变,降低了补充工作液的工作量及难度。