本发明公开了一种基于太赫兹光谱的材料特性测量方法、装置及介质，所述方法包括：根据太赫兹脉冲对样品的测量数据，获取太赫兹脉冲在样品中不同传播次数的延迟情况，得到时间延迟参数的表达式集；求解表达式集和脉冲响应函数，得到初始参数估计值集，并根据初始参数估计值集建立正则化误差函数；通过最小化正则化误差函数，得到参数估计值集。本发明提出一种基于太赫兹光谱的材料特性测量方法、装置及介质，根据所建立的脉冲响应函数计算出关于光学特性的初始参数估计值集，再通过最小化正则化误差函数的方式对初始参数估计值集作进一步修正，可以得到更加准确的参数估计值集，能够解决难以准确且简便地检测材料的光学特性的问题。