一种高通量柔性纤维神经电极及其制备方法
Abstract:
本发明属于神经电极领域,具体为一种高通量柔性纤维神经电极及其制备方法。本发明通过微纳米加工的方式制备具有精细电路的多层梯形软薄膜,之后通过机械辅助卷膜的方式,将反扣的薄膜卷起,露出位于薄膜表面的电极位点,得到具有分节锥状结构的纤维神经电极。制备步骤包括旋涂基底层、热蒸镀金属导电层、气相沉积绝缘层和衬底层、激光直写光刻与等离子体刻蚀、水平台辅助卷膜。本发明制备的神经电极能够充分利用纤维侧表面实现在200μm直径电极中通道数可达400个以上,并具有良好的生物安全性,其可以实现长达四周的多通道记录。
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