摘要：
本发明公开了一种多反光学系统的光学性能测量及补偿抛光方法，包括如下步骤：1)确定待修面；2)波前像差测量；3)待修面面形解算；4)补偿抛光路径规划；5)补偿抛光。本发明的方法将多反光学系统中各镜面的面形偏差和位姿偏差归结到了一个镜面上进行评估和补偿，对装调引入的位姿偏差进行补偿，在确保多反光学系统的整体性能的基础上，极大的提高了补偿抛光效率。
公开/授权文献
- CN118372174A 一种多反光学系统的光学性能测量及补偿抛光方法 公开/授权日：2024-07-23
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