本发明公开了一种行星式平面研磨机，涉及磨削研磨装置技术领域，包括齿圈、下转台、太阳轮、上转台，和两片呈圆环状的金刚石研磨垫，两片金刚石研磨垫分别设于下转台和上转台相对的两个平面上；定位载具，定位载具上开设有多个第一定位孔和多个第二定位孔，多个第一定位孔均靠近定位载具的边缘，定位载具设于两片金刚石研磨垫之间，定位载具在绕自身轴转动的同时也在绕着太阳轮的轴线转动；金刚石研磨垫包括从内至外依次设置的均呈圆环状的第一研磨部、第二研磨部和第三研磨部，第二研磨部的研磨效率最高。该行星式平面研磨机在保证多块硬脆材料厚度一致性的同时，进一步提高了行星式平面研磨机的生产效率。