一种纳米硅抗制绒涂料及其制备方法、使用方法和应用
摘要:
本发明涉及涂料技术领域,更具体地,涉及一种纳米硅抗制绒涂料及其制备方法、使用方法和应用。所述纳米硅抗制绒涂料由改性硅溶胶、溶剂组成;所述改性硅溶胶、溶剂的质量比为(50‑80):(1‑2)。本发明涂覆在硅片非制绒面的所形成的涂膜可以避免制绒液的蚀刻,避免制绒,从而实现硅片的单面制绒,解决现有技术单面制绒成本高,工艺复杂以及掩膜效果差等问题。
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