本发明提供了一种具有细等轴晶的区熔锌铝合金靶材的制备方法，属于合金靶材的制备工艺领域，包括以下步骤：步骤一：配料，称取Zn金属块和Al金属块；步骤二：熔化，将原料进行熔化；步骤三：雾化制粉，将步骤二中的金属熔液进行精炼，当合金熔融液体温度达到液相线以上40～80℃时进行气雾化制粉；步骤四：粉末筛分，选出15‑150μm的粉末备用；步骤五：区熔定向凝固和冷却，将步骤五筛分后的球形合金粉末进行区熔定向凝固在不锈钢背管外表面，获得ZnAl旋转溅射靶材，最后将获得的ZnAl旋转溅射靶材进行冷却至室温；本发明工艺参数容易控制，微观组织分布均匀，晶粒细小；无疏松气孔裂纹等缺陷，从而获得组织细小、无偏析的ZnAl旋转靶材。