发明授权
- 专利标题： 滤光片制备方法和滤光片制备装置
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申请号： CN202410891562.3申请日： 2024-07-04
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公开(公告)号： CN118422151B公开(公告)日： 2024-09-13
- 发明人: 景茂恒 , 钟枚汕 , 卢文浩 , 王志明 , 张小波 , 黄家杰 , 彭翔 , 赵继光 , 祝世登 , 赵亮
- 申请人： 中国南方电网有限责任公司超高压输电公司电力科研院
- 申请人地址： 广东省广州市黄埔区科学大道223号
- 专利权人： 中国南方电网有限责任公司超高压输电公司电力科研院
- 当前专利权人： 中国南方电网有限责任公司超高压输电公司电力科研院
- 当前专利权人地址： 广东省广州市黄埔区科学大道223号
- 代理机构： 华进联合专利商标代理有限公司
- 代理商 李弘
- 主分类号： C23C14/35
- IPC分类号： C23C14/35 ; C23C14/02 ; C23C14/08 ; C23C14/10 ; C23C14/54 ; C23C14/58 ; G02B1/10
摘要：
本申请涉及一种滤光片制备方法和装置。所述方法包括：将衬底置于磁控溅射仪中，在衬底上依次沉积多个膜层以制备滤光片，并在膜层沉积的过程中实时检测膜层的厚度变化率；获取当前沉积的目标膜层，并获取与目标膜层对应的目标参考范围；确定当前检测到的膜层的厚度变化率是否位于目标参考范围内，并根据确定结果调整磁控溅射仪的功率。采用本制备方法能够提高线性渐变滤光片的光学特性。
公开/授权文献
- CN118422151A 滤光片制备方法和滤光片制备装置 公开/授权日：2024-08-02
IPC分类:
