本发明公开了一种基于MEMS的电网电气量宽带多频测量方法及系统，涉及电气控制技术领域，包括利用采样板采集模拟量采样数据；基于模拟量采样数据进行数字量采集，得到数字量采样数据并进行传输；利用分析处理对模拟量采样数据和数字量采样数据进行数据处理并将数据处理后的采样数据传输至分析处理子站；根据计算结果判断电网扰动；基于模拟量采样数据、数字量采样数据和电网扰动信息进行判断并存储数据。本发明通过利用基于MEMS传感器的电气量宽频采样板、基于MEMS执行器的电气量宽频采样板和基于MEMS信号处理芯片的电气量宽频采样板，实现了将微电子机械系统MEMS与电网电气量宽带多频测量进行结合，进一步提高采样板的性能和精度。