本发明属于射频声学谐振器技术领域，公开了一种新型层状结构的高性能兰姆波谐振器，包括衬底、功率补偿层、第一温度补偿层、压电薄膜、电极、第二温度补偿层；衬底位于谐振器最底端，功率补偿层在衬底上方，第一温度补偿层位于功率补偿层上方，压电薄膜设置在第一温度补偿层上方，压电薄膜上方设置有第二温度补偿层，第二温度补偿层内含有电极。衬底材料为Si；功率补偿层材料为SiC、GaN；第一温度补偿层材料为SiO2；压电薄膜材料选自铌酸锂LiNbO3、钽酸锂LiTaO3，氮化铝AlN，掺钪氮化铝AlScN压电材料；电极为IDT电极，材料选自钛Ti、铝Al、铜Cu、金Au、铂Pt、银Ag中的至少一种；电极上方的第二温度补偿层材料为SiO2；衬底采用底部刻蚀。