可折叠基材包括第一部分、第二部分以及位置在其间的中心部分。中心部分包括从第一主表面凹陷了第一距离的第一中心表面区域以及第二中心表面区域。第二主表面包括第二中心表面区域。钝化边缘绕着可折叠基材的整个周界延伸。钝化边缘包括钝化边缘与第一主表面交汇的第一钝化表面区域以及钝化边缘与第二主表面交汇的第二钝化表面区域。方法包括在去除可折叠基材的初始边缘的周界部分以形成中间体边缘之前层叠可折叠基材和支撑层。中间体边缘与蚀刻剂接触以形成钝化边缘。方法还包括从可折叠基材去除支撑层。