发明公开
- 专利标题： 一种乙硼烷的提纯制备方法及其提纯系统
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申请号： CN202310094384.7申请日： 2023-02-07
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公开(公告)号： CN118458696A公开(公告)日： 2024-08-09
- 发明人: 陈刚军 , 白宇慧 , 闫晓军 , 贾辉
- 申请人： 烟台万华电子材料有限公司
- 申请人地址： 山东省烟台市经济技术开发区珠江路32号留学生创业园2号楼416室
- 专利权人： 烟台万华电子材料有限公司
- 当前专利权人： 烟台万华电子材料有限公司
- 当前专利权人地址： 山东省烟台市经济技术开发区珠江路32号留学生创业园2号楼416室
- 代理机构： 北京信诺创成知识产权代理有限公司
- 代理商 王莹; 陈悦军
- 主分类号： C01B6/34
- IPC分类号： C01B6/34 ; C01B6/10 ; B01D3/14
摘要：
本发明提供了一种乙硼烷的提纯制备方法及其提纯系统,通过第一次吸附、第一次精馏、第二次精馏、第二次吸附和第三次吸附，以除去其中的金属元素和杂质气体，特别是与乙硼烷沸点相近的杂质气体。控制提纯过程中的工艺参数，如：压力和温度，上述工艺参数的设置能显著增强提纯效果并提高杂质的分离效率，得到纯度符合要求的纯化的乙硼烷。
