一种稳定超疏水复眼透镜的制造方法
Abstract:
本发明涉及一种稳定超疏水复眼透镜的制造方法,涉及微纳制造及激光微细加工技术领域,该方法具体包括:将PMMA、甲苯和甲基红的混合溶液涂于黑色亚克力板表面,制得第一样片;制造具有微米结构透镜的第二样片;将PDMS旋涂于第二样片上,即第三样片;基于反模具制得毫微二级复合结构,即第四样片;在第四样片表面溅射SiO2薄膜,制得第五样片;在第五样片表面溅射ZnO,并将溅射氧化锌后的第五样片放入第二溶液中进行水浴,制得第六样片;清洗第六样片,烘干后并进行氟化处理,制得复眼透镜。本发明解决了超疏水性与机械稳定性、高光学性能之间的矛盾关系,实现具有稳定超疏水性的复眼透镜制造,制造复眼实现大视场、高运动感知、稳定超疏水性等功能集成。
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