本发明公开了一种大功率窄线宽的片上外腔激光器。所述大功率的片上外腔激光器由两个芯片混合集成，其中一个是输出带有倾角的增益芯片，另一个是带有滤波器的外腔芯片，该外腔芯片包括端面耦合器、相移器、模式复用器、第一采样光栅和第二采样光栅。增益芯片和外腔芯片经过端面耦合后形成激光器，经过相移器的调节，使激光在两个芯片之间形成振荡，可以实现大功率且高边模抑制比的片上激光输出。本发明可以实现大功率窄线宽高边模抑制比的片上激光输出，并且外腔芯片满足CMOS工艺流程，工艺简便。