本申请涉及晶圆针测设备技术领域，具体公开了一种用于晶圆针测机的无尘室，包括壳体，所述壳体的内部设有针测室和设备室，所述针测室内设有晶圆针测机和机械臂，设备室内设有空气净化器，所述壳体内设有位于针测室一侧的进料室，且针测室与进料室相通，所述进料室内固定安装有辅助供料装置，辅助供料装置的顶端设有晶圆存放装置，所述晶圆存放装置内部设为无尘环境。通过晶圆针测机内部设置空气净化器，将壳体内部的空气净化，以及晶圆存放装置层层存放晶圆，配合进料室内设置的辅助供料装置，使得晶圆转移到壳体内晶圆针测机的工作台期间，晶圆始终处于无尘状态下，并完成针测测试，从而节省了成本。