本发明涉及玻璃材料成型技术领域，具体涉及一种锂铝硅超薄玻璃及其成型工艺和装置。其中，一种锂铝硅超薄玻璃的成型工艺，包括：将熔融玻璃液采用溢流法初步成型获取玻璃基板；对玻璃基板进行拉引、溢流压延处理得到厚度为1‑2mm的玻璃带；在玻璃带温度≥950℃时采用水平压延法进行水平压延处理、晶化处理和退火处理得到锂铝硅超薄玻璃。本发明采用溢流法和水平压延法相结合的成形工艺，并进一步通过控制溢流压延处理玻璃带厚度以及转向时玻璃带温度，从而实现锂铝硅超薄玻璃一次成型与晶化，解决了锂铝硅超薄玻璃成型困难以及玻璃厚度难以控制的问题，进而提高了锂铝硅超薄玻璃的成品率且使得产品性能显著提升。