发明公开
- 专利标题: 一种一次性无损成膜的聚对二甲苯镀膜方法及设备
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申请号: CN202410475037.3申请日: 2024-04-19
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公开(公告)号: CN118563253A公开(公告)日: 2024-08-30
- 发明人: 李志胜 , 雷雨 , 李志安 , 李启伟 , 王成祥
- 申请人: 苏州航东真空技术有限公司 , 海鹰空天材料研究院(苏州)有限责任公司
- 申请人地址: 江苏省苏州市相城区经济技术开发区澄阳街道富元路富阳工业坊7号厂房249室;
- 专利权人: 苏州航东真空技术有限公司,海鹰空天材料研究院(苏州)有限责任公司
- 当前专利权人: 苏州航东真空技术有限公司,海鹰空天材料研究院(苏州)有限责任公司
- 当前专利权人地址: 江苏省苏州市相城区经济技术开发区澄阳街道富元路富阳工业坊7号厂房249室;
- 代理机构: 长春众邦菁华知识产权代理有限公司
- 代理商 张伟
- 主分类号: C23C14/12
- IPC分类号: C23C14/12 ; C23C14/24
摘要:
本发明涉及一种一次性无损成膜的聚对二甲苯镀膜方法及设备,其中设备包括工件架、托盘、转动机构、电磁振动机构和振动驱动机构等,所述工件架上固定至少一个电磁振动机构,振动驱动机构通过电压和电流的变化控制电磁振动机构产生可变强度和可变频率的振动,使被镀膜工件与工件架之间的接触部位产生位置偏离。本发明能够防止被镀膜工件和工件架接触部位生成相连通膜层,避免取件过程由于粘连造成产品表面存在接触部位粘连,造成取件时产品损坏;对于需要相对较厚膜层的产品,避免二次或多次开炉执行镀膜,造成产品表面膜层和基材之间局部脱离形成空穴影响产品性能;本发明能够提高产品镀膜质量,提高生产效率并降低成本。
IPC分类: