发明公开
- 专利标题: 一种自动上下料的晶圆研磨机
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申请号: CN202410792863.0申请日: 2024-06-19
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公开(公告)号: CN118578226A公开(公告)日: 2024-09-03
- 发明人: 商宇游
- 申请人: 苏州康巨富自动化设备有限公司
- 申请人地址: 江苏省苏州市吴中经济开发区横泾街道天鹅荡路2011号6幢
- 专利权人: 苏州康巨富自动化设备有限公司
- 当前专利权人: 苏州康巨富自动化设备有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省苏州市吴中经济开发区横泾街道天鹅荡路2011号6幢
- 代理机构: 苏州圆融专利代理事务所
- 代理商 薛赟
- 主分类号: B24B7/22
- IPC分类号: B24B7/22 ; B24B27/00 ; B24B41/00
摘要:
本发明公开了一种自动上下料的晶圆研磨机,包括上料机构、进料机构、支撑腿、研磨箱和排料带,所述研磨箱的顶部设有压盖,所述压盖的顶端中部设有第二电机,所述压盖的顶部一侧设有进料罩,所述进料罩的一侧设有进料机构,所述进料机构的顶部一侧设有上加料斗,所述上加料斗的斜下方设有上料机构,所述研磨箱的底端中部设有集料斗,所述集料斗上设有限位架,所述集料斗设在限位架的中部,所述支撑腿的底部设有支撑底座。该发明设有研磨箱,在研磨箱的顶部设有压盖,在压盖的顶部一侧设有进料罩,通过进料罩可以保证进料的安全性,在进料罩的一侧设有进料机构,通过进料机构方便对输送的物料进行稳定输送。