一种自动上下料的晶圆研磨机
摘要:
本发明公开了一种自动上下料的晶圆研磨机,包括上料机构、进料机构、支撑腿、研磨箱和排料带,所述研磨箱的顶部设有压盖,所述压盖的顶端中部设有第二电机,所述压盖的顶部一侧设有进料罩,所述进料罩的一侧设有进料机构,所述进料机构的顶部一侧设有上加料斗,所述上加料斗的斜下方设有上料机构,所述研磨箱的底端中部设有集料斗,所述集料斗上设有限位架,所述集料斗设在限位架的中部,所述支撑腿的底部设有支撑底座。该发明设有研磨箱,在研磨箱的顶部设有压盖,在压盖的顶部一侧设有进料罩,通过进料罩可以保证进料的安全性,在进料罩的一侧设有进料机构,通过进料机构方便对输送的物料进行稳定输送。
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