一种基于级联二氧化硅多模干涉器结构的光模式解复用器，属于二氧化硅集成光学技术领域。从下至上依次由衬底、下包层、芯层和上包层组成，芯层和上包层共同位于下包层之上，且芯层被完全包覆在上包层之中，上包层和下包层的材料为二氧化硅，芯层的材料为掺锗的二氧化硅，衬底材料为硅。芯层由三部分结构级联构成，第一部分为级联的两级Y分支波导，第二部分为4×4多模干涉器，第三部分为2条直波导和一个2×2多模干涉器。本发明所述器件可以在分别输入TE0、TE1、TE2和TE3四种模式时，由四个不同的端口输出TE0模式，从而实现模式的解复用功能。器件采用无源结构，通过波导移相器调整波导中光信号的相位，以实现模式解复用功能。