发明公开
- 专利标题： 一种冷却加热双功能静电吸盘基座及方法
-
申请号： CN202410546014.7申请日： 2024-05-06
-
公开(公告)号： CN118588624A公开(公告)日： 2024-09-03
- 发明人: 段东东 , 任小虎 , 陈军 , 谢如应
- 申请人： 杭州大和热磁电子有限公司
- 申请人地址： 浙江省杭州市滨江区滨康路668号、777号
- 专利权人： 杭州大和热磁电子有限公司
- 当前专利权人： 杭州大和热磁电子有限公司
- 当前专利权人地址： 浙江省杭州市滨江区滨康路668号、777号
- 代理机构： 杭州杭诚专利事务所有限公司
- 代理商 汪利胜
- 主分类号： H01L21/683
- IPC分类号： H01L21/683 ; H01L21/67
摘要：
本发明公开了一种冷却加热双功能静电吸盘基座及方法，旨在解决现有的静电吸盘只能进行冷却，而不能兼具加热的功能的不足。该发明包括基座本体，基座本体内设置冷却流道，基座本体上安装若干加热元件。本专利申请的静电吸盘基座具备加热和冷却的双重功能，满足不同的使用要求，防止放置在静电吸盘基座上的半导体材料出现温度的急速变化而出现开裂的情况。
IPC分类:
