发明公开
- 专利标题: 一种用于倒装芯片基板凸点植球的真空吸附模具及植球方法
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申请号: CN202410665170.5申请日: 2024-05-27
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公开(公告)号: CN118595550A公开(公告)日: 2024-09-06
- 发明人: 黄天奇 , 刘强 , 程轲
- 申请人: 深圳市驭鹰者电子有限公司
- 申请人地址: 广东省深圳市前海深港合作区前湾一路1号A栋201室(入驻深圳市前海商务秘书有限公司)
- 专利权人: 深圳市驭鹰者电子有限公司
- 当前专利权人: 深圳市驭鹰者电子有限公司
- 当前专利权人地址: 广东省深圳市前海深港合作区前湾一路1号A栋201室(入驻深圳市前海商务秘书有限公司)
- 代理机构: 深圳市中融创智专利代理事务所
- 代理商 李朦; 叶垚平
- 主分类号: B23K1/00
- IPC分类号: B23K1/00 ; B23K1/20 ; H01L21/683 ; H01L21/48
摘要:
本发明公开一种倒装芯片基板凸点植球方法,包括如下步骤:S1:于倒装芯片基板上刷助焊剂;S2:通过真空吸附模具吸附锡球;S3:翻转倒装芯片基板,将倒装芯片基板上的焊接预制口与真空吸附模具上的锡球对齐;S4:关闭真空吸附模具,将锡球置于焊接预制口;S5:对倒装芯片基板进行回流焊,以形成倒装芯片基板凸点,可以理解,本发明通过使用真空吸附模具结合锡球焊接,能有效提升植球的一致性,进一步地,本发明在植球过程中无需使用钢网,因此可制作出尺寸以及Pitch更小的凸点,以满足高端芯片与Chiplet需求,进一步地,本发明无需使用植球设备,仅通过设置倒装设备即可实现倒装芯片基板的凸点植球,减化流程,节约成本,提升效率。
IPC分类: