一种用于倒装芯片基板凸点植球的真空吸附模具及植球方法
摘要:
本发明公开一种倒装芯片基板凸点植球方法,包括如下步骤:S1:于倒装芯片基板上刷助焊剂;S2:通过真空吸附模具吸附锡球;S3:翻转倒装芯片基板,将倒装芯片基板上的焊接预制口与真空吸附模具上的锡球对齐;S4:关闭真空吸附模具,将锡球置于焊接预制口;S5:对倒装芯片基板进行回流焊,以形成倒装芯片基板凸点,可以理解,本发明通过使用真空吸附模具结合锡球焊接,能有效提升植球的一致性,进一步地,本发明在植球过程中无需使用钢网,因此可制作出尺寸以及Pitch更小的凸点,以满足高端芯片与Chiplet需求,进一步地,本发明无需使用植球设备,仅通过设置倒装设备即可实现倒装芯片基板的凸点植球,减化流程,节约成本,提升效率。
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