发明公开
- 专利标题： 兼具高硬度、高耐磨性AlCrMoSiN梯度涂层的制备工艺
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申请号： CN202410126340.2申请日： 2024-01-30
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公开(公告)号： CN118621263A公开(公告)日： 2024-09-10
- 发明人: 王铁钢 , 田立立 , 张蕊 , 朱建博 , 阎兵 , 刘艳梅 , 范其香 , 曹凤婷
- 申请人： 天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心)
- 申请人地址： 天津市津南区大沽南路1310号
- 专利权人： 天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心)
- 当前专利权人： 天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心)
- 当前专利权人地址： 天津市津南区大沽南路1310号
- 代理机构： 沈阳新蔚蓝知识产权代理事务所
- 代理商 于晓波
- 主分类号： C23C14/06
- IPC分类号： C23C14/06 ; C23C14/02 ; C23C14/35
摘要：
本发明公开了一种兼具高硬度、高耐磨性AlCrMoSiN梯度涂层的制备工艺，属于涂层技术领域。该梯度涂层是通过线性调节靶功率从而控制Mo含量呈梯度变化的，梯度涂层的靶功率调节范围为：下限为0.4kW、上限为0.7～1.2kW(线性)。该涂层是采用高功率脉冲磁控溅射和脉冲直流磁控溅射复合镀膜技术在基体上沉积而成，通过调控Mo含量线性增加，制备出兼具高硬度、高耐磨性的梯度涂层。
IPC分类:
