发明公开
摘要：
本文公开一种体声波谐振器及带通滤波器，包括：衬底、声反射层、底电极、压电薄膜和顶电极组成；其中，声反射层设置在底电极的底部；顶电极和底电极均由一层以上二维材料组成；声反射层的材料包括橡胶或凝胶；声反射层的纵波声阻抗小于预设的阻抗阈值。本发明实施例以一层以上二维材料组成底电极和顶电极，降低了电极的质量负载效应与机械阻尼，提升了体声波谐振器的谐振频率。
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