发明公开
- 专利标题: 一种多功能高频加热退火炉
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申请号: CN202410884615.9申请日: 2024-07-03
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公开(公告)号: CN118668052A公开(公告)日: 2024-09-20
- 发明人: 李智德 , 胡紫阳 , 刘童 , 陈保财
- 申请人: 深圳市业展电子有限公司
- 申请人地址: 广东省深圳市龙华区龙华街道清湖社区清湖村宝能科技园12栋13层B座
- 专利权人: 深圳市业展电子有限公司
- 当前专利权人: 深圳市业展电子有限公司
- 当前专利权人地址: 广东省深圳市龙华区龙华街道清湖社区清湖村宝能科技园12栋13层B座
- 代理机构: 广东知畔知识产权代理事务所
- 代理商 周梓源
- 主分类号: C21D9/00
- IPC分类号: C21D9/00 ; C21D1/773 ; C21D1/42 ; C21D1/26
摘要:
本发明提供一种多功能高频加热退火炉,其包括:底座、炉门仓、加热仓、顶盖装置、载物台以及升降装置,底座上设有支撑架,炉门仓安装于底座上,加热仓设于炉门仓上且通过支撑架与底座连接,顶盖装置盖设于加热仓的顶部,载物台设于炉门仓与加热仓的内部。炉门仓包括炉仓本体以及炉门,炉仓本体上开设有气体接口以及泵接口。加热仓包括:热仓本体、固定架、混用螺旋线圈以及隔热炉砖,固定架设于热仓本体上,混用螺旋线圈设于热仓本体的外围,隔热炉砖安装于热仓本体的内壁上;混用螺旋线圈为中空结构,混用螺旋线圈内设有导电线管以及冷却水管。该多功能高频加热退火炉能够满足不同冷却方式的需求,同时简化操作步骤,为操作员提供便利。