一种多功能高频加热退火炉
摘要:
本发明提供一种多功能高频加热退火炉,其包括:底座、炉门仓、加热仓、顶盖装置、载物台以及升降装置,底座上设有支撑架,炉门仓安装于底座上,加热仓设于炉门仓上且通过支撑架与底座连接,顶盖装置盖设于加热仓的顶部,载物台设于炉门仓与加热仓的内部。炉门仓包括炉仓本体以及炉门,炉仓本体上开设有气体接口以及泵接口。加热仓包括:热仓本体、固定架、混用螺旋线圈以及隔热炉砖,固定架设于热仓本体上,混用螺旋线圈设于热仓本体的外围,隔热炉砖安装于热仓本体的内壁上;混用螺旋线圈为中空结构,混用螺旋线圈内设有导电线管以及冷却水管。该多功能高频加热退火炉能够满足不同冷却方式的需求,同时简化操作步骤,为操作员提供便利。
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