半导体封装及其冷却系统
摘要:
半导体封装可以包括:半导体芯片;虚设半导体芯片,在半导体芯片上;以及接合绝缘层,在半导体芯片和虚设半导体芯片之间。接合绝缘层可以将半导体芯片附接到虚设半导体芯片。虚设半导体芯片可以包括从入口延伸到出口的冷却沟道。入口可以通过冷却沟道与出口流体连通。入口可以被配置为允许冷却流体流入。出口可以被配置为允许冷却流体流出。接合绝缘层的顶表面可以具有凹凸形状。
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