本文介绍了电容式微机电系统(MEMS)感测器的恒定电荷或电容的实施例。MEMS装置包括感测元件电路，该感测元件电路包括偏置电阻、电荷泵和电容式感测元件，该电容式感测元件包括电极和感测电容。电荷泵在电耦合到电极的偏置电阻处产生偏置电压，该偏置电压与包括感测电容的值的电容值成反比，以利于维持电极上的标称恒定电荷。感测电路包括交流(AC)信号源，该信号源产生定义频率的AC信号；并且基于AC信号在电耦合到电极的测试电容处产生AC测试电压。感测元件电路基于定义频率的AC测试电压产生表示感测电容的值的输出信号。