一种半导体模板加工设备
摘要:
本发明涉及涂覆设备技术领域,尤其涉及一种半导体模板加工设备,包括有工作台和涂覆组件等;工作台连接有用于圆形模板涂覆的涂覆组件。本发明可根据模板的不同形状切换涂覆方式,进而解决现有涂覆设备无法满足两种不同的涂覆方式,导致厂家需要购买两种不同涂覆方式的机器,而为不常使用的方形模板专门购买设备,增加生产成本,且购买的设备由于不常使用将出现闲置现象,而设备闲置将容易出现损坏的问题;弧形挡板不仅在圆形模板涂覆时起到阻挡作用,在方形模板涂覆时,也一样可以起到辅助涂覆的效果;出料盒旋转时,由于进料口为可形变的硅胶材质,使得进料口与喷液器保持连通状态,从而保证光刻胶的正常排出。
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