发明公开
- 专利标题: 夹具盘、试验工件架、真空镀膜机及镀膜工艺试验方法
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申请号: CN202411023781.6申请日: 2024-07-29
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公开(公告)号: CN118726931A公开(公告)日: 2024-10-01
- 发明人: 易洪波 , 陆其彬 , 刘伟基 , 陈艺勤 , 冀鸣 , 段辉高 , 赵刚
- 申请人: 佛山市博顿光电科技有限公司 , 中山市博顿光电科技有限公司
- 申请人地址: 广东省佛山市南海区狮山镇华沙路12号之一南海平谦国际智慧产业园A5-1;
- 专利权人: 佛山市博顿光电科技有限公司,中山市博顿光电科技有限公司
- 当前专利权人: 佛山市博顿光电科技有限公司,中山市博顿光电科技有限公司
- 当前专利权人地址: 广东省佛山市南海区狮山镇华沙路12号之一南海平谦国际智慧产业园A5-1;
- 代理机构: 广州市律帆知识产权代理事务所
- 代理商 余永文
- 主分类号: C23C14/50
- IPC分类号: C23C14/50
摘要:
本申请涉及一种夹具盘、试验工件架、真空镀膜机及镀膜工艺试验方法;所述夹具盘包括:底盘,棘轮,上盖,产品安装盘以及曲柄;产品安装盘上以圆形分布方式设有多个放置测试产品的产品安装位;棘轮内置在底盘中,产品安装盘连接在底盘上;上盖设置于产品安装盘上方,且与棘轮连接;上盖上开设有至少一个镂空部位;其中上盖的非镂空区域用于遮挡非镀膜的产品,镂空部位用于露出需要镀膜的产品;曲柄连接在底盘上,曲柄驱动棘轮进行转动并带动所述上盖旋转,对需要镀膜的产品进行切换;该技术方案,可以在真空镀膜机进行镀膜工艺试验中,减少真空腔体的开门次数,提高镀膜工艺试验对比的准确性。
IPC分类: