发明公开
- 专利标题: 一种多层压电晶片组合式六维加速度传感器
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申请号: CN202410485919.8申请日: 2024-04-22
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公开(公告)号: CN118731416A公开(公告)日: 2024-10-01
- 发明人: 刘俊 , 康海亮 , 陕宁 , 李敏 , 秦岚
- 申请人: 重庆大学 , 德阳智能机器人研究院
- 申请人地址: 重庆市沙坪坝区沙正街174号;
- 专利权人: 重庆大学,德阳智能机器人研究院
- 当前专利权人: 重庆大学,德阳智能机器人研究院
- 当前专利权人地址: 重庆市沙坪坝区沙正街174号;
- 代理机构: 重庆缙云专利代理事务所
- 代理商 左倩
- 主分类号: G01P15/09
- IPC分类号: G01P15/09 ; G01P15/08 ; G01P15/18
摘要:
本发明公开一种多层压电晶片组合式六维加速度传感器,包括基座(1)、壳体(2)、测力计、多个惯性质量块(4);所述壳体(2)罩装在基座(1)上,从而封装位于基座(1)上的测力计和惯性质量块(4);所述惯性质量块(4)中心与六维加速度传感器的工作三维直角坐标系的Z轴共线;所述测力计包括X0°切型石英晶片组(7)、第一个Y0°切型石英晶片组(8)、第二个Y0°切型石英晶片组(9);所述X0°切型石英晶片组(7)用于测量Z向线加速度、X向角加速度、Y向角加速度;所述第一个Y0°切型石英晶片组(8)用于测量Y向线加速度值;所述第二个Y0°切型石英晶片组(9)用于测量X向线加速度值和Z向角加速度值。本发明的质量块更加贴合对应电极,石英晶片的输出会更加灵敏。通过调节灵敏度,本发明测量范围线性度更高。本发明优化了压电式六维加速度传感器的结构,制作难度和制造成本更低。
IPC分类: