一种多层压电晶片组合式六维加速度传感器
摘要:
本发明公开一种多层压电晶片组合式六维加速度传感器,包括基座(1)、壳体(2)、测力计、多个惯性质量块(4);所述壳体(2)罩装在基座(1)上,从而封装位于基座(1)上的测力计和惯性质量块(4);所述惯性质量块(4)中心与六维加速度传感器的工作三维直角坐标系的Z轴共线;所述测力计包括X0°切型石英晶片组(7)、第一个Y0°切型石英晶片组(8)、第二个Y0°切型石英晶片组(9);所述X0°切型石英晶片组(7)用于测量Z向线加速度、X向角加速度、Y向角加速度;所述第一个Y0°切型石英晶片组(8)用于测量Y向线加速度值;所述第二个Y0°切型石英晶片组(9)用于测量X向线加速度值和Z向角加速度值。本发明的质量块更加贴合对应电极,石英晶片的输出会更加灵敏。通过调节灵敏度,本发明测量范围线性度更高。本发明优化了压电式六维加速度传感器的结构,制作难度和制造成本更低。
0/0