发明公开
摘要：
本发明公开了一种大量程高精度变电容式位移传感器，该传感器包括动极板与静极板两大核心部件，相对于静极板，在其上方的动极板可以在水平方向上移动。且静极板上包含有用于精确测量的发射电极和两组接收电极，动极板上则包含有相对应的两组反射电极。在动极板运动的过程中通过电容耦合来解调信号相位的方式，从而完成高精度位移的测量。本发明传感器在兼顾大量程的要求下还具有高分辨率、结构简单、精度高、环境适应性好等优点。
