一种基于增敏结构的压强测量装置及测量方法
摘要:
本发明涉及压强测量技术领域,具体涉及一种基于增敏结构的压强测量装置及测量方法。其中,压强测量装置包括:测量装置保护壳和膜片,膜片设置于测量装置保护壳的一侧,用于在压力作用下发生形变;压强测量装置还包括:增敏结构;增敏结构设置于测量装置保护壳的内部,增敏结构的一侧与膜片相连接,增敏结构的另一侧与测量装置保护壳之间设置有法珀干涉腔;增敏结构将膜片中心挠度变化量转移为法珀干涉腔的腔长变化量,压强测量装置基于法珀干涉腔的腔长与压强之间的标定公式推算压强。本发明提供的一种基于增敏结构的压强测量装置及测量方法,抗电磁干扰能力强,灵敏度和精度更高,且无零漂,使用寿命更长。
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